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一般名： 超臨界乾燥装置
メーカー名： 株式会社レクザム Rexxam Co.
型番： SCRD4
装置概要： 超臨界状態の炭酸ガスを利用することで、脆い微細構造体を破壊することなく、洗浄および乾燥することが可能。
使用流体 CO2
使用圧力 14MPa
使用温度 40℃
チャンバー 内径φ110×26mm
